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              分子束外延系統

              • 電子束蒸發MBE系統-OCTOPLUS 500 EBV
              電子束蒸發MBE系統-OCTOPLUS 500 EBV

              電子束蒸發MBE系統-OCTOPLUS 500 EBV

              • 產品型號:OCTOPLUS 500 EBV
              • 產品描述:Octoplus 500 EBV系統非常適合于金屬、磁性材料、氧化物、拓撲絕緣材料及Si/SiGe異質結構材料生長應用研發與生產。標準的Octoplus 500 EBV MBE有10個呈放射狀分布的源孔,我們建議8個源孔用于束流源、升華源或者相關組件。2個DN250CF大的源孔用于電子束蒸發槍,電子束蒸發也可以是多孔的電子槍-EBVM。
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              OCTOPLUS 500 EBV MBE系統是為了在4英寸Si襯底上生長高質量的Si/SiGe材料而研發的。也可以升級為6英寸的樣品。腔體也可以裝載2個電子束蒸發和8個束流源或者裝載氣體噴出,或者表面處理。

              裝有束流源和電子束蒸發源的SiGe及其他材料的MBE系統

              理想的Si/SiGe外延生長或者金屬沉積

              基片可以是3,4或者6英寸

              2個大容量的電子槍源孔

              8個束流源或者氣體源孔

              原位表征能力

              易于使用和維護

              潔凈室裝配和測試

              強大的MBE博士專家支持團隊

              電子槍產生的電子束流可以通過四級質量譜儀檢測。樣品臺選用熱解石墨加熱或者鎢、鉭加熱絲。OCTOPLUS 500 EBV MBE系統是公認的非常適合于金屬、磁性材料、氧化物、拓撲絕緣材料及Si/SiGe異質結構材料生長應用研發與生產。

              標準的OCTOPLUS 500 EBV MBE有10個呈放射狀分布的源孔,我們建議8個源孔用于束流源、升華源或者相關組件。2個DN250CF大的源孔用于電子束蒸發槍,電子束蒸發也可以是多孔的電子槍-EBVM??焖俪檎婵者M樣室配有水平磁力桿傳輸系統,可以在不破壞MBE腔室真空的前提下,簡便地進行樣品傳輸??梢耘鋫?a href="http://www.lysdiod.com/cn/product/Products-SurfaceAnalysis-RHEED.html" target="_blank">RHEED系統原位監測薄膜生長狀況。

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