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            分子束外延束源爐

            • 高溫束源爐-HTEZ
            高溫束源爐-HTEZ

            高溫束源爐-HTEZ

            • 產品型號:HTEZ
            • 產品描述:高溫束源爐-HTEZ可加熱至1900℃。HTEZ的加熱效率高,溫度測量控制重復性好,并且可以精確調節。鉭燈絲的優化設計確保了加熱穩定性,即使在極限溫度下也可以具有很長的使用壽命。
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            高溫束源爐-HTEZ用于低蒸汽壓的元素和化合物材料薄膜沉積,例如Fe,Cr,Ni,Co,Au,Ge等材料,以及表面科學分析和磁性或氧化物薄膜沉積。


            產品特點:

            安裝法蘭:DN40CF / DN63CF

            真空內長度:220~400 mm

            加熱燈絲類型:鉭絲加熱

            熱偶:W5%Re / W26%Re( C)

            加熱溫度:最高1900(根據所選坩堝材料)

            除氣溫度:最高1900(根據所選坩堝材料)

            外部烘烤溫度:250

            冷卻方式:集成水冷 / 獨立冷屏

            坩堝容量:1.5 / 10 / 35 cc

            坩堝材料:Al2O3,BeO,Ta,W(根據要求其他材料)

            選配:擋板


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