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            迷你電子束蒸發源

            • 可原位更換坩堝電子束蒸發源
            可原位更換坩堝電子束蒸發源

            可原位更換坩堝電子束蒸發源

            • EVEX40
            • 產品描述:可以應用于多種材料蒸發,如Ag,Au,Al,Ni,Co,Fe等,以及有機材料蒸發。蒸發材料放在W坩堝內,將坩堝裝載于旗形樣品托上,蒸發源上端可以允許擺動夾鉗機械手或者操控器拉出旗形樣品托,進行快速的原位更換坩堝。
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            可以應用于多種材料蒸發,如Ag,Au,Al,Ni,Co,Fe等,以及有機材料蒸發。蒸發材料放在W坩堝內,將坩堝裝載于旗形樣品托上,蒸發源上端可以允許擺動夾鉗機械手或者操控器拉出旗形樣品托,進行快速的原位更換坩堝。

            坩堝的填料容積是0.5cc,冷卻循環水確保薄膜在低于10-9mbar氣壓下生長。蒸發源配備了手動擋板,以及C型熱偶。


            特點:

            法蘭尺寸:CF40;

            真空腔體內長度:185 mm;

            部件:旗形樣品托及W坩堝,磁耦合擋板旋轉;

            水冷接頭:G1/8轉6 mm卡套接頭;

            可承受的最高烘烤溫度:200℃;

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