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            超高真空磁力傳樣桿

            • 超高真空磁力耦合傳樣桿
            超高真空磁力耦合傳樣桿

            超高真空磁力耦合傳樣桿

            • 型號:RM40
            • 產品描述:超高真空磁力耦合傳樣桿(RM40),可線性運動和旋轉,主要功能是將樣品在真空環境下傳輸樣品/掩模版/樣品拖等。磁力桿外部的稀土磁鐵和磁力桿內部的磁鐵耦合在一起進行傳輸,內部高精度軸承保證了傳樣桿即使經過多次加熱烘烤也能順暢地傳樣。
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            超高真空磁力耦合傳樣桿(RM40),可線性運動和旋轉,主要功能是將樣品在真空環境下傳輸樣品/掩模版/樣品拖等。磁力桿外部的稀土磁鐵和磁力桿內部的磁鐵耦合在一起進行傳輸,內部高精度軸承保證了傳樣桿即使經過多次加熱烘烤也能順暢地傳樣。


            特點:

            安裝法蘭:DN40CF,可定制;

            線性傳輸行程:可定制;

            縮回后腔體內長度:Min. 10 mm,Max. 1250 mm;

            線性力:70 N;

            扭力矩:5 Nm;

            可承受的烘烤溫度:Max. 150℃;

            工作壓力范圍:1000 mbar ~ 10-11 mbar;

            兼容各種超高真空腔體;

            可選配各種功能的叉,爪,鉗夾,升降機構等;

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