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            脈沖激光沉積組件

            • 脈沖激光沉積激光式加熱器
            脈沖激光沉積激光式加熱器

            脈沖激光沉積激光式加熱器

            • 產品描述:脈沖激光沉積激光式加熱器可以實現非常高的加熱溫度,并且可以實現快速升溫和降溫,對于真空系統是最”清潔“的最快速的加熱方式。
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            激光加熱-最高>1100°C

            激光加熱是通過一個聚焦的紅外激光束輻照樣品托或是基片的背面,以實現快速加熱。

            該系統包括三部分:第一部分是樣品托,主要用于裝載基片,可以通過進樣室傳遞。第二部分是樣品架,主要用于固定樣品托(該樣品架同樣可以兼容電阻加熱器)。第三部分是激光器以及光學組件,采用高功率的二極管激光器,激光束通過光學組件聚焦到樣品托的背部。

            該加熱器主要優點是:加熱溫度高,可快速升溫、降溫,可承受更高的氧分壓。同時它是一種最“清潔”的加熱方式,可保證良好的真空環境。

            您也可以查看電阻式加熱器輻射式加熱器。


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