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              EUV OEM組件

              • EUV光源分布成像相機
              EUV光源分布成像相機

              EUV光源分布成像相機

              • 帶內成像
              • 波長:13.5 nm ±2%
              • 成像分辨率 ~ 40微米
              • 聚焦深度:500 / 1000 mm
              • 產品描述:EUV光源成像相機,用于診斷/校準EUV光源分布特性
              • 在線訂購

              德國Research Instruments 公司是屬于Bruker的一個專注于研究室用的深紫外和極紫外光相關的技術的高科技公司,成立于2009年。主要設備制造經驗集中在超高真空超潔凈納米定位系統,各種類型的深(極)紫外光源,光學元件,集成的分析光譜儀器,軟X射線解決方案等。

              我們提EUV/XUV分析測試系統相關的OEM組件:包括EUV 光源,EUV CCD相機模塊,EUV光譜分析模塊,EUV能量監控模塊,EUV聚焦模塊.


              EUV光源分布分析CCD相機


              技術參數:

              wavelength

              Band width

              Focal length

              Operation pressure

              13.5 nm

              0.45 nm

              250 mm(Nominal)

              10-7 mbar

              Length

              Width

              Max. Height

              Weight

              1000 mm

              480 mm

              450 mm

              20 kg

              Interface

              DN 40 CF

              Electronic connections

              GigE / POE

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