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            分子束外延束源爐

            • 硅升華束源爐-SUSI
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            硅升華束源爐-SUSI

            • 產品型號:SUSI
            • 產品描述:硅升華束源爐-SUSI是專門用于生長超薄Si薄膜,Si的III-V族摻雜,GaAs摻雜,超純硅燈絲,全硅設計,束流的控制精度可達到0.1A/s。
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            硅升華束源爐-SUSI是專門用于生長超薄Si薄膜,Si的III-V族摻雜,GaAs摻雜,超純硅燈絲,全硅設計。束流的控制精度可達到0.1A/s。


            產品特點:

            專門用于生長Si薄膜;

            III-V族和GaAs應用中的Si摻雜;

            高純材料設計;

            水冷設計的電學接觸;

            全硅材料設計束源爐;



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