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            分子束外延裂解源

            • 氧原子源-OBS
            • 氧原子源-OBS
            氧原子源-OBS氧原子源-OBS

            氧原子源-OBS

            • 產品型號:OBS
            • O原子裂解效率可達到80%
            • 產品描述:氧原子源是一種熱模式的氣體裂解源,可以產生沒有離子狀態的H原子束流,可以有效避免離子轟擊對襯底的影響。
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            原子源-OBS是一種熱模式的氣體裂解源,可以產生沒有離子狀態的H原子束流,可以有效避免離子轟擊對襯底的影響。


            特點:

            原子裂解效率可達到:80%

            原子氫密度高達10^15/s*cm2

            沒有高能粒子和離子存在

            低功耗

            集成水冷


            如有設備需求或技術咨詢歡迎隨時聯系我們。

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